Diagnosis device of recipe used for scanning electron microscope

WO2010038369 Art A1 8. April 2010

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010038369
Aktenzeichen: EP09817412
Anmeldetag: 16. September 2009
Veröffentlichung: 8. April 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66H01J37/21H01J37/22H01J37/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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