Vacuum evacuation system, substrate processing apparatus, method for manufacturing electronic device, and method for operating vacuum evacuation system

WO2010038416 Art A1 8. April 2010

Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010038416
Aktenzeichen: EP09817458
Anmeldetag: 29. September 2009
Veröffentlichung: 8. April 2010
Rechtsraum: WO
IPC: F04B37/08F25B9/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Anelva Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

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Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

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