Semiconductor Manufacturing Plant
WO2010038612
Art A1
8. April 2010
Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010038612
- Aktenzeichen
- EP09817649
- Anmeldetag
- 15. September 2009
- Veröffentlichung
- 8. April 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/677H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SUMCO Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumco
Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
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