Method for detecting abnormal placement state of substrate, substrate processing method, computer-readable storage medium and substrate processing apparatus

WO2010038674 Art A1 8. April 2010

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010038674
Aktenzeichen: EP09817707
Anmeldetag: 25. September 2009
Veröffentlichung: 8. April 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683C23C16/52H01L21/02H01L21/324H01L21/205H01L21/3065H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von