Crosslinking agent, negative resist composition, and pattern forming method using the negative resist composition

WO2010038742 Art A1 8. April 2010

Anmelder: Dai Nippon Printing Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010038742
Aktenzeichen: EP09817774
Anmeldetag: 29. September 2009
Veröffentlichung: 8. April 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/038G03F7/004H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Dai Nippon Printing Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Dai Nippon Printing

Japanisches Unternehmen der Druckindustrie mit Sitz in Tokio, das sich über klassische Druckerzeugnisse hinaus in Elektronikmaterialien, Displaykomponenten und Verpackungslösungen diversifiziert hat.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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