Cmos integrated micromechanical resonators and methods for fabricating the same

WO2010039307 Art A2 8. April 2010

Anmelder: Cornell University, The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010039307
Aktenzeichen: EP09818144
Anmeldetag: 26. Juni 2009
Veröffentlichung: 8. April 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H03H3/007H03H9/02H03H3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Cornell University
The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cornell University

Die Cornell University ist eine private Universität in Ithaca, New York (USA), die in Forschung und Lehre über zahlreiche natur- und ingenieurwissenschaftliche Fachrichtungen aktiv ist.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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