A method for forming metal capped substrate imprints

WO2010042076 Art A1 15. April 2010

Anmelder: Agency for Science, Technology And Research 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010042076
Aktenzeichen: EP09819528
Anmeldetag: 9. Oktober 2009
Veröffentlichung: 15. April 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L51/40G03F7/00B29C59/02H01L21/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Agency for Science, Technology And Research
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 Agency for Science, Technology and Research

Staatliche Forschungsorganisation Singapurs (bekannt als A*STAR), zuständig für angewandte Forschung in Biomedizin, Physik und Ingenieurwissenschaften. Fördert Technologietransfer zwischen Wissenschaft und Industrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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