Moving body apparatus, exposure apparatus, device manufacturing method, assembling method and maintaining method for moving body apparatus, and adjusting method, maintaining method, and assembling method for exposure apparatus

WO2010044267 Art A1 22. April 2010

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010044267
Aktenzeichen: EP09820445
Anmeldetag: 15. Oktober 2009
Veröffentlichung: 22. April 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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