Method and device for inspecting wafer pattern

WO2010044358 Art A1 22. April 2010

Anmelder: Kabushiki Kaisha TOPCON 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010044358
Aktenzeichen: EP09820536
Anmeldetag: 30. September 2009
Veröffentlichung: 22. April 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kabushiki Kaisha TOPCON
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kabushiki Kaisha Topcon

Topcon ist ein japanischer Hersteller von Mess-, Vermessungs- und ophthalmologischen Geräten sowie Positionierungstechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik sowie Medizintechnik und Gesundheit, ergänzt durch Software und Optik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2017.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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