Conveying device and vacuum device

WO2010044440 Art A1 22. April 2010

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010044440
Aktenzeichen: EP09820618
Anmeldetag: 15. Oktober 2009
Veröffentlichung: 22. April 2010
Rechtsraum: WO
IPC: B25J15/00B25J9/06B25J15/08H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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