Method of determining diameter of single crystal, process for producing single crystal using same, and device for producing single crystal
WO2010047039
Art A1
29. April 2010
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010047039
- Aktenzeichen
- EP09821740
- Anmeldetag
- 24. September 2009
- Veröffentlichung
- 29. April 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C30B29/06C30B15/26
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Fachgebiete
Vertreten von
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