Thin-film transistor having high adhesive strength between barrier film and drain electrode and source electrode films
WO2010047040
Art A1
29. April 2010
Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation, ULVAC, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010047040
- Aktenzeichen
- EP09821741
- Anmeldetag
- 24. September 2009
- Veröffentlichung
- 29. April 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L29/786H01L21/28H01L29/417H01L29/423H01L29/49
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Mitsubishi Materials Corporation
ULVAC, Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Mitsubishi Materials
Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.
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🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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