Thin-film transistor having high adhesive strength between barrier film and drain electrode and source electrode films

WO2010047040 Art A1 29. April 2010

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation, ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010047040
Aktenzeichen
EP09821741
Anmeldetag
24. September 2009
Veröffentlichung
29. April 2010
Rechtsraum
WO
IPC
H01L29/786H01L21/28H01L29/417H01L29/423H01L29/49
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Mitsubishi Materials Corporation
ULVAC, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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