Semiconductor device and method for manufacturing same
WO2010047118
Art A1
29. April 2010
Anmelder: Renesas Electronics Corporation, Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010047118
- Aktenzeichen
- EP09821818
- Anmeldetag
- 22. Oktober 2009
- Veröffentlichung
- 29. April 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/3205H01L21/768H01L23/52
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Renesas Electronics Corporation
Ulvac, Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Renesas Electronics
Japanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Mikrocontroller, analoge Bauelemente und Halbleiterlösungen unter anderem für die Automobil- und Industrieelektronik.
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🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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