Method for measuring expansion/contraction, method for processing substrate, method for producing device, apparatus for measuring expansion/contraction, and apparatus for processing substrate

WO2010047203 Art A1 29. April 2010

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010047203
Aktenzeichen: EP09788075
Anmeldetag: 14. September 2009
Veröffentlichung: 29. April 2010
Rechtsraum: WO
IPC: B41J11/00B41J11/42B41J3/407

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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