Method for inspecting electrostatic chuck, and electrostatic chuck apparatus

WO2010047311 Art A1 29. April 2010

Anmelder: Creative Technology Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010047311
Aktenzeichen: EP09822008
Anmeldetag: 19. Oktober 2009
Veröffentlichung: 29. April 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683B23Q3/15H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Creative Technology Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇸🇬 Creative Technology

Creative Technology ist ein Elektronikkonzern aus Singapur, bekannt für Audio- und Multimedia-Produkte wie Sound Blaster. Der Patentbestand liegt vor allem in Nachrichtentechnik, Software sowie Akustik- und Datenspeichertechnik, ergänzt um Halbleiterbauelemente. Die Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

314 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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