Apparatus and method to control vacuum at porous material using multiple porous materials

WO2010048299 Art A1 29. April 2010

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010048299
Aktenzeichen: EP09822637
Anmeldetag: 21. Oktober 2009
Veröffentlichung: 29. April 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G03B27/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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