Ion implanting apparatus

WO2010050453 Art A1 6. Mai 2010

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010050453
Aktenzeichen: EP09823563
Anmeldetag: 27. Oktober 2009
Veröffentlichung: 6. Mai 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/317G11B5/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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