Ausrichtungssteuergerät und Ausrichtungsverfahren

WO2010050500 Art A1 6. Mai 2010

Anmelder: Mitsubishi Heavy Industries, Ltd., Fast Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010050500
Aktenzeichen: EP09823610
Anmeldetag: 28. Oktober 2009
Veröffentlichung: 6. Mai 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/60B81C3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
Fast Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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