Allyl-containing precursors for the deposition of metal-containing films

WO2010052672 Art A2 14. Mai 2010

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010052672
Aktenzeichen
EP09759812
Anmeldetag
6. November 2009
Veröffentlichung
14. Mai 2010
Rechtsraum
WO
IPC
C07F15/00C07F15/04C23C16/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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