Ingot cutting apparatus and cutting method
WO2010052827
Art A1
14. Mai 2010
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010052827
- Aktenzeichen
- EP09824528
- Anmeldetag
- 8. Oktober 2009
- Veröffentlichung
- 14. Mai 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304B23D55/00B23D59/04B28D5/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Vertreten von
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