Calibration standard member, method for manufacturing the member, and scanning electronic microscope using the member

WO2010052840 Art A1 14. Mai 2010

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010052840
Aktenzeichen: EP09824541
Anmeldetag: 22. Oktober 2009
Veröffentlichung: 14. Mai 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G01B15/00G01B1/00G01B3/30G01N23/225H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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