Solar cell manufacturing method and manufacturing device
WO2010052884
Art A1
14. Mai 2010
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010052884
- Aktenzeichen
- EP09824585
- Anmeldetag
- 2. November 2009
- Veröffentlichung
- 14. Mai 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L31/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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