Method and system of measuring motion error in precision linear stage

WO2010053229 Art A1 14. Mai 2010

Anmelder: IUCF-HYU (Industry-University Cooperation Foundation Hanyang University) 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010053229
Aktenzeichen
EP09824912
Anmeldetag
28. Januar 2009
Veröffentlichung
14. Mai 2010
Rechtsraum
WO
IPC
G01B21/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IUCF-HYU (Industry-University Cooperation Foundation Hanyang University)
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Iucf-hyu (Industry-University Cooperation Foundation Hanyang University)

Die IUCF-HYU verwaltet Forschungsergebnisse und Patente der Hanyang University in Südkorea. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Medizintechnik, ergänzt um anorganische Chemie und Software. Anmeldungen reichen von 2002 bis 2025.

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