Composition of a cleaning material for particle removal

WO2010053642 Art A1 14. Mai 2010

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010053642
Aktenzeichen: EP09825171
Anmeldetag: 1. Oktober 2009
Veröffentlichung: 14. Mai 2010
Rechtsraum: WO
IPC: C11D3/37

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe

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