Tellurium precursors for film deposition

WO2010055423 Art A2 20. Mai 2010

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010055423
Aktenzeichen: EP09815435
Anmeldetag: 29. Mai 2009
Veröffentlichung: 20. Mai 2010
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von