Vacuum pumping device, vacuum processing device, and vacuum processing method

WO2010055665 Art A1 20. Mai 2010

Anmelder: Ulvac Cryogenics Inc., ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010055665
Aktenzeichen
EP09825918
Anmeldetag
12. November 2009
Veröffentlichung
20. Mai 2010
Rechtsraum
WO
IPC
F04B37/16F04B37/08F04B37/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Ulvac Cryogenics Inc.
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

Vertreten von

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