Electrode circuit, film formation device, electrode unit, and film formation method

WO2010055669 Art A1 20. Mai 2010

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010055669
Aktenzeichen: EP09825922
Anmeldetag: 12. November 2009
Veröffentlichung: 20. Mai 2010
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/509H01L21/205H01L31/04H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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