Moving body drive control method, exposure method, robot control method, drive control device, exposure device, and robot device

WO2010055673 Art A1 20. Mai 2010

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010055673
Aktenzeichen: EP09825926
Anmeldetag: 13. November 2009
Veröffentlichung: 20. Mai 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B25J13/00G03F7/20H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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