Organic thin film deposition device, organic el element manufacturing device, and organic thin film deposition method

WO2010055876 Art A1 20. Mai 2010

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010055876
Aktenzeichen: EP09826123
Anmeldetag: 12. November 2009
Veröffentlichung: 20. Mai 2010
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/04G09F9/00G09F9/30H01L27/32H01L51/50H05B33/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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