Corrosion-resistant bonding agents for bonding ceramic components which are exposed to plasmas

WO2010056294 Art A2 20. Mai 2010

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010056294
Aktenzeichen
EP09826402
Anmeldetag
5. November 2009
Veröffentlichung
20. Mai 2010
Rechtsraum
WO
IPC
C04B41/85C04B41/81C04B41/45C04B35/553C04B35/01
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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