Electron beam welding of large vacuum chamber body having a high emissivity coating

WO2010056615 Art A2 20. Mai 2010

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010056615
Aktenzeichen
EP09826596
Anmeldetag
9. November 2009
Veröffentlichung
20. Mai 2010
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/00H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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