Sealing apparatus for a process chamber

WO2010056954 Art A2 20. Mai 2010

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010056954
Aktenzeichen: EP09826811
Anmeldetag: 13. November 2009
Veröffentlichung: 20. Mai 2010
Rechtsraum: WO
IPC: F16J15/10C23C16/00F16J15/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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