Verfahren zum Ausbilden einer Mikro-Oberflächenstruktur sowie zum Herstellen eines Mikroelektromechanischen Bauelements, Mikro-Oberflächenstruktur sowie Mikroelektromechanisches Bauelement mit einer Solchen Struktur
WO2010057878
Art A2
27. Mai 2010
Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010057878
- Aktenzeichen
- EP09752193
- Anmeldetag
- 17. November 2009
- Veröffentlichung
- 27. Mai 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B81C1/00
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.
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