Method and apparatus for producing thin films on a substrate via a pulsed- electron deposition process

WO2010058281 Art A1 27. Mai 2010

Anmelder: Consiglio Nazionale Delle Ricerche 🇮🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010058281
Aktenzeichen: EP09796438
Anmeldetag: 20. November 2009
Veröffentlichung: 27. Mai 2010
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/34H01J37/304H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Consiglio Nazionale Delle Ricerche
Land: 🇮🇹 Italien

🇮🇹 Consiglio Nazionale Delle Ricerche

Der Consiglio Nazionale delle Ricerche (CNR) ist die nationale Forschungsorganisation Italiens mit breiter Forschung in Naturwissenschaften und Technik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Gesundheit sowie Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Pharma und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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