Pellicle film, pellicle used with mask for tft liquid crystal panel production, and photomask containing the pellicle

WO2010058586 Art A1 27. Mai 2010

Anmelder: Asahi Kasei E-materials Corporation, HOYA Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010058586
Aktenzeichen: EP09827367
Anmeldetag: 19. November 2009
Veröffentlichung: 27. Mai 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Asahi Kasei E-materials Corporation
HOYA Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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