Micro-actuator with large displacement and high operation speed and manufacturing method thereof

WO2010058867 Art A1 27. Mai 2010

Anmelder: Korea Institute of Science and Technology 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010058867
Aktenzeichen: EP08878287
Anmeldetag: 19. November 2008
Veröffentlichung: 27. Mai 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L41/113

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea Institute of Science and Technology
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Science and Technology

Südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Seoul, das interdisziplinäre Forschung in Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Materialtechnologie betreibt und zahlreiche Patente aus seinen Instituten hervorbringt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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