Image mask assembly for photolithography

WO2010059580 Art A2 27. Mai 2010

Anmelder: Corning Incorporated 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010059580
Aktenzeichen: EP09828088
Anmeldetag: 17. November 2009
Veröffentlichung: 27. Mai 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Corning Incorporated
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Corning

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Corning, New York. Corning ist spezialisiert auf Spezialglas, Keramik und optische Fasern für Displays, Telekommunikation, Automobiltechnik, Life Sciences und Umwelttechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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