Transistor and method for manufacturing same

WO2010061554 Art A1 3. Juni 2010

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010061554
Aktenzeichen: EP09828804
Anmeldetag: 19. November 2009
Veröffentlichung: 3. Juni 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/336H01L21/28H01L29/786

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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