Upper heater for manufacturing single crystal, single crystal manufacturing apparatus and single crystal manufacturing method

WO2010064354 Art A1 10. Juni 2010

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010064354
Aktenzeichen: EP09830125
Anmeldetag: 8. Oktober 2009
Veröffentlichung: 10. Juni 2010
Rechtsraum: WO
IPC: C30B15/14C30B29/06H05B3/14H05B3/64

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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