Container For Precursors Used in Deposition Processes

WO2010065304 Art A1 10. Juni 2010

Anmelder: Linde LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010065304
Aktenzeichen: EP09830851
Anmeldetag: 18. November 2009
Veröffentlichung: 10. Juni 2010
Rechtsraum: WO
IPC: C23C18/00H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Linde LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇩🇪 Linde

Deutscher Industriegasekonzern mit Wurzeln in München, gegründet 1879. Entwickelt und liefert technische Gase sowie Anlagen zur Gasverarbeitung für Industrie, Medizin und Energiewirtschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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