Seal mechanism and treatment device
WO2010067540
Art A1
17. Juni 2010
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010067540
- Aktenzeichen
- EP09831648
- Anmeldetag
- 2. Dezember 2009
- Veröffentlichung
- 17. Juni 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- F16J15/32F16J15/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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