Rack and pinion system, vacuum processing device, drive control method for rack and pinion system, drive control program, and recording medium

WO2010067591 Art A1 17. Juni 2010

Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010067591
Aktenzeichen: EP09831698
Anmeldetag: 9. Dezember 2009
Veröffentlichung: 17. Juni 2010
Rechtsraum: WO
IPC: F16H19/04B65G49/06C23C14/56C23C16/44H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Anelva Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

421 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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