Precursor for acid-dissociable dissolution-inhibitive group and cyclic compound having acid-dissociable dissolution-inhibitive group

WO2010067627 Art A1 17. Juni 2010

Anmelder: Idemitsu Kosan Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010067627
Aktenzeichen: EP09831733
Anmeldetag: 11. Dezember 2009
Veröffentlichung: 17. Juni 2010
Rechtsraum: WO
IPC: C07C59/125C07C65/17C07C65/26C07C69/63C07C69/712C07C69/76C07C69/94C07D311/22C07D317/54G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Idemitsu Kosan Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Idemitsu Kosan

Japanisches Energie- und Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Aktiv in Mineralölverarbeitung, petrochemischen Produkten, Schmierstoffen sowie Materialien für organische Leuchtdioden (OLED).

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Organische Chemie

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