Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung von Gegenständen mittels eines Niederdruckplasmas

WO2010069594 Art A1 24. Juni 2010

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010069594
Aktenzeichen: EP09801943
Anmeldetag: 18. Dezember 2009
Veröffentlichung: 24. Juni 2010
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/452H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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