Method for cleaning object and system for cleaning object

WO2010071005 Art A1 24. Juni 2010

Anmelder: Aqua Science Corporation, Kyushu University, National University Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010071005
Aktenzeichen
EP09833310
Anmeldetag
19. November 2009
Veröffentlichung
24. Juni 2010
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304B05B7/04B08B3/02G03F1/08H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Aqua Science Corporation
Kyushu University, National University Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Kyushu University

Kyushu University ist eine staatliche Universität in Fukuoka, Japan, mit Forschungsschwerpunkten in Natur- und Ingenieurwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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