Polymerizable fluoromonomer, fluoropolymer, resist material, and method of pattern formation

WO2010071029 Art A1 24. Juni 2010

Anmelder: Central Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010071029
Aktenzeichen: EP09833333
Anmeldetag: 3. Dezember 2009
Veröffentlichung: 24. Juni 2010
Rechtsraum: WO
IPC: C08F20/28G03F7/004G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Central Glass Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

1.099 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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