Movable body apparatus

WO2010071238 Art A1 24. Juni 2010

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010071238
Aktenzeichen
EP09799195
Anmeldetag
18. Dezember 2009
Veröffentlichung
24. Juni 2010
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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