Pattern measuring apparatus and pattern measuring method

WO2010073360 Art A1 1. Juli 2010

Anmelder: Advantest Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010073360
Aktenzeichen
EP08879156
Anmeldetag
26. Dezember 2008
Veröffentlichung
1. Juli 2010
Rechtsraum
WO
IPC
G01B15/00H01J37/22H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Advantest Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Advantest

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.

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