Pattern measuring apparatus and pattern measuring method
WO2010073360
Art A1
1. Juli 2010
Anmelder: Advantest Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010073360
- Aktenzeichen
- EP08879156
- Anmeldetag
- 26. Dezember 2008
- Veröffentlichung
- 1. Juli 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01B15/00H01J37/22H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Advantest Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Advantest
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.
610 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.