Gasket-type orifice and pressure-type flow rate control device using same

WO2010073473 Art A1 1. Juli 2010

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010073473
Aktenzeichen
EP09834289
Anmeldetag
12. November 2009
Veröffentlichung
1. Juli 2010
Rechtsraum
WO
IPC
F15D1/02F16L55/00G01F1/00G01F1/42
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fujikin Incorporated
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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