Apparatus for managing holding members, apparatus for manufacturing semiconductor, method for managing holding members, and method for manufacturing semiconductor device

WO2010073487 Art A1 1. Juli 2010

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010073487
Aktenzeichen: EP09834303
Anmeldetag: 27. November 2009
Veröffentlichung: 1. Juli 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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